하지만 석문면개발위원회와 지역주민들의 격렬하게 반대하는 등 논란이 거세지자 당진시는 안전성 입증 등을 이유로 2021년 8월 불산공산 건설 불허 처분을 내렸다.
이에 불복한 (주)램테크놀러지는 당진시를 상대로 ‘석문산단 내 불화수소 (불산) 공장 건축허가 신청 불허가 처분 취소’ 신청을 청구하고 충남도에는 행정심판, 법원에는 행정소송을 제기했다.
충남도의 행정심판에서는 (주)램테크놀러지의 불허가 처분 취소 신청을 기각한 반면, 지난해 4월 대전지방법원에서 열린 1심에서는 재발 가능성이 거의 없고 (주)램테크놀러지가 공청회를 할 의무가 없다고 판단, 당진시가 ‘건축허가 불허 처분을 취소’해야 한다고 판결했다.
이 결정에 당진시는 즉시 항소에 나섰고, 이어 석문개발위원회와 불산공장반대책 특별위원회 주축으로 석문면 20개 마을 주민 400여 명이 (주)램테크놀러지 금산공장 앞에서 대규모 집회를 여는 등 투쟁의 강도가 더욱 거세졌다.
특히, 석문면개발위원회 강정의 위원장, 이종호 고문, 조세현 사무국장, 배성수 사무차장이 삭발을 감행하며 불산공장 입주에 대한 강력한 반대 의사를 표명하기도 했다.
불산공장 반대대책 특별위원회 관계자는 “석문국가산업단지는 다양한 기능을 가진 생산, 주거, 업무, 관광, 상업 기능을 갖는 복합형 산업단지로, 공장 예정지 주변에는 교육 연구시설과 체육시설, 공원 등이 인접해 있어 주민들의 안전을 지키기 위해 최선의 노력을 다하겠다”라며 "추후 대법원의 판단을 기다리겠다"고 밝혔다.